美國IST Repellix 表面改性設備
產品名稱： 美國IST Repellix 表面改性設備
英文名稱：
產品編號： RPX-210/RPX-540/RPX-560
產品價格： 0
產品產地： 美國
品牌商標： IST PVA-IST
更新時間： null
使用范圍： null
北京哲勤科技有限公司
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美國IST(Integrated Surface Technologies)-表面改性設備
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典型應用:
表面改性
DNA微陣列
生物兼容性改性
親水?μ流體薄膜
疏水保護薄膜
提高表面粘附性
無機氧化物原子沉積
MEMS抗粘合層
半導體制造和封裝涂層
控制：
PC精密控制，形成單分子層，可設置連續或交替進行。
靈活的控制系統，允許自行設計工藝，形成特色納米結構。
同一設備更換不同單體可完成不同工藝。
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優勢：
靈活的工藝步驟
自然沉積，均勻性極高
重復性好
低成本
適用大批量生產
配置：
腔體大小：317.5×243.84×254 mm
運行真空度：10 torr（100℃）
腔室溫度：85℃
設備大小：1016×965.2×914.4 mm
回充氣體：N2 或CDA (5.5 bar)
PC控制
多達32,000可編程步驟
